砷化镓片化学腐蚀

清洗晶片尺寸：Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ6"；
每槽花篮数：Φ2"、Φ3"处理量100片/批，Φ4" 处理量50片/批，Φ6"处理量25片/批。包板材料：德国进口盐白PP板材；
腐蚀及清洗槽数：PVDF浸泡槽， QDR槽
水枪、气枪各1把；
电气功率：三相380V，小于8KW；
前面板为透明左右推拉门结构；
1#槽到2#槽之间圆弧抛动传送花篮，转移时间3秒；
纯水进水接口口径：32A，3Kgf，50L/min以上；
压缩空气供给：500NL/min以上,接口口径Φ10mm(PE材质), 6~8Kg；
氮气供给：100NL/min，接口口径Φ6mm(PFA材质), 6~8Kg；