基板清洗设备

＊通过洗剂喷淋、轮刷刷洗、喷淋清洗、超声波清洗、风刀风干、紫外线照射等方法，清洁干燥ITO玻璃基板表面。
＊装置组成：
1.上料装置
2.传送装置
3.洗剂喷淋
4.洗剂刷洗单元
5超声单元
6.二流体清洗
7.超声波（兆声）清洗单元
8.超纯水喷淋清洗单元
9.风刀风干
10.紫外线照射（UV）
11.下料装置
12.溶液混和箱
13.二流体泵及过滤单元
14.药液循环泵及过滤单元
15.主控制柜
16.纯水加热器