硅圆片去 光 阻 清 洗 机

本设备适用于LED外延片去光阻清洗工序。；
设备型号：CSE-SLXJ23;
花篮：圆形2″花篮，25片/篮，1篮/批；
传送方式：人工传送；
主要材料：德国进口10mm瓷白PP板机壳，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；
DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材，需满足18M去离子水水质要求，酸碱管路材质为进口PFA/PVDF；
采用国际标准生产加工，焊接组装均在万级净化间内完成