非晶硅玻璃基板清洗设备

该清洗线应用于低温多晶硅玻璃清洗，对玻璃基板进行第一次清洗及干燥的加工处理。
清洗玻璃基板尺寸：1100mm×1400mm  δ0.3～3mm
基板传递方向：操作界面从左到右
处理时间：标准17秒/片   标准运送速度 约1.8m/min
基板水平基准：地面至基板下面1000mm