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硅片化学清洗腐蚀

1970-01-01 08:001380询价
价格:未填
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 HNO3+H3PO4+CH3COOH
 槽体材质: PP,循环槽结构,      防漏槽材质:PP;
 清洗批量:2提篮/批次;
 清洗药液:HNO3+H3PO4+CH3COOH;
 清洗时间设定:0~9999sec;
 温度:50℃,温度控制精度±1℃;
 加热器:PFA在线加热器,3KW;
 温度控制方式:欧姆龙温度控制器+电力调整器;
循环系统:PP磁力泵,15L/min,药液接触部分为PP材料;
药液供给:手动桶装供给,直接供给到处理槽;
药液更换模式:可设定为清洗时间模式、清洗片盒计数模式,到期设备自动提醒;
 处理槽液面控制:使用N2液位,具有报警功能,内槽检测下限及定量,外槽检测上限和下限。
 管路阀门:使用气动阀门;
 槽体盖子:自动,PTFE材质,采用气缸控制盖子翻转;
 排气:共用排气管路,材料为PP,配置连接法兰、风压检测及调节阀门,尺寸为200A,接口在设备的上部
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