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处理对象：Ф2”、 Ф3”、 Ф4”、 Ф6”晶片；药液处理槽批量：配备专用装卸提篮（PTFE材质）12个，兼容Ф2”、 Ф3”、 Ф4”、 Ф6”、Ф8”标准花篮，其中Ф2”、 Ф3”、 Ф4”晶片一次清洗不少于100片，Ф6” 晶片一次清洗不少于50片，按照标准片盒（每盒25片）设计。
铝刻蚀设备
1. 设 备 名: 铝刻蚀
上料花篮 : 手动 2. 机器尺寸:
1200 (W) x 1200 (L) x 1920 (H) 3. 硅片尺寸: Φ6英寸
处 理 量: 25 片 x 2 盒
花 篮: Entergris A-182-60MB ( ASMC提供)
提手型号: A72-60-03* (ASMC提供) 4. 设备结构
4.1 架子(SUS + FM-PVC)-------- 1 set
4.2 清洗槽( chemical ) ---------- 1 set
4.3 清洗槽 (DIW ) ------ ---- 1 set
4.4 槽 盖 ------ ---- 1 set
4.5 摇动系统 ------ ---- 1 set
4.6 管路系统 ---------- 1 set
4.7 控制面板 ------ ---- 1 set
加热传感器 ------- ----1set
