TEM用无膜硅框架

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规格参数：

1. 单面镀膜硅片：Si基底，厚度：200µm，框架Ø3mm，双面均有50nm氮化硅薄膜；
  
2. 亲水性硅片：Si基底，厚度：200µm，框架Ø3mm，双面均有50nm氮化硅薄膜；氮化硅薄膜上还镀有5nm的亲水性氧化铝薄膜；
 
3. 疏水性硅片：Si基底，厚度：200µm，框架Ø3mm，双面均有50nm氮化硅薄膜；氮化硅薄膜上还镀有5nm的疏水性薄膜；
 
4. 普通硅片：Si基底，厚度：200µm，框架Ø3mm；