LINE-TECH质量流量控制器

流量范围 10SCCM-125SLPM 
响应时间 ≤2sec 
准确度 ≤1%FS 
重复精度 ±0.25% 
输入/输出信号 0-5VDC,4-20mA 
供电电源 +15~28VDC,350mA 
耐压 <9MPa 
工作环境温度 0-50℃ 
泄漏率 1*10-9atm.cc/sec