ALICAT气体质量流量控制器

产品特点：

满量程从0.5(S)CCM到4000(S)LPM 
响应时间100ms 
量程比优于100：1 
精度±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程） 
可通过本地显示、RS-232或模拟信号三种控制方式来控制流量 
安装位置不敏感 
现场可选30种校验气体