全反射X射线荧光光谱仪

全反射X射线荧光光谱仪的工作原理（TXRF） 
X射线荧光光谱分析法(XRF)的原理：原子受原级X射线激发后，发出次级X射线荧光。因此，XRF 分析法可以： 
 根据荧光的波长和能量，确定元素； 
 各元素的浓度可根据荧光的强度进行计算。 

X射线由Mo靶或W靶产生，在Ni/C人工多层膜上反射并单色化。扁平的光束以非常小的角度(0.3 – 0.6 °)掠射装有样品的样品架，并产生全反射。样品所产生的特征荧光被能量色散探测器(XFlash® detector) 探测，强度通过偶合的多通道分析器测量。