●分析元素 4Be（选配），5B ~ 92U ●X射线分光器 高灵敏度型 ●最大样品尺寸 100mm□× 5mmt ●X射线取出角 52.5° ●二次电子分辨率 6nm ( EPMA-1600), 5nm ( EPMA-1610)
可在微区领域进行高灵敏度的元素分析装置。控制系统全部数字化。观察、分析只需使用鼠标、键盘，操作极为便利，并可通过互联网进行计算机操作。EPMA-1610型配备高性能CeBix灯丝，实现了在亚微米领域的分析实用化。
微区高灵敏度•高精度分析的EPMA！丰富多样的分析模式，为研究开发，失效分析发挥威力。
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