X-射线微区分析系统特点 l 飘移补偿选项 l 自动分析选项 l 化学粒子特征分析软件选项 l 定量的元素面分布和多元素线扫描 l 模拟谱峰的鉴定 l 一个用户界面或者窗口适合所有的应用方式 l 项目开发器可用于容易管理各个分析项目的数据和图谱 l 数字脉冲处理器和数字电子束控制电子学系统 l 高通量的采集，包括电镜控制参数，分析数据的精确结果 l 采集条件的自动的最佳选择 l 谱峰的自动校正在采谱和分析过程中自动完成 l 点击Word 和powerpoint 自动转出数据和谱图报告 l 数据被储存在工业标准的格式
X-射线微区分析 l X-射线元素面分布图像和多元素线扫描 l 自动的定性和定量分析 l 定量分析的PROZA修正程序 l 电子图像采集 l RGB彩色图像显示 l 自动的多点分析模式
全谱图像 Spectral Imaging l 采集分辨率可设置到1024X1024像素，在电子图像的每一点中都经过死时间修正。全谱化学数据完全的获得样 l 在任何时间都可调出谱，X-射线图像和线扫描 l 标准的微量分析工具 — 谱分析，图像和X-射线图，线扫描，定性和定量分析 l 自动精确的谱峰鉴定 l 样品的全部数据（谱，图像，每个点的谱图）自动存档。 l 从存储数据中任意时间提取任意元素面分布和线扫描。 l 对提取的谱和图像进行定性定量分析 l 精确的谱峰鉴定
COMPASS化合物自动统计分析 l 快速的产生“化合物”成份图像，每个点经过校正 l 化学特征自动提取，完全不需设置步骤 l 在数据中可分析至每一个像素点 l 对复杂的化学特征分析有强有力的解决方法 l 2001和2002年度美国获奖分析软件 l Thermo Scientific享有专利权的，与Sandia国家实验室合作
