专利摘要显示,本发明公开了一种超高真空密封结构及密封方法,超高真空密封结构包括两个对接的壳体、金属密封件;壳体包括对接面以及通孔,两壳体的对接面之间形成一间隙;金属密封件置于间隙内,其包括两个相对的侧面、以及由其中一个侧面贯穿至另一侧面的连通孔,两侧面分别朝向两对接面;侧面上突出的设置有两个以上环绕连通孔设置的密封环,任意两密封环的其中一个落入另一个密封环内部;每一个侧面上至少有两个密封环和与该侧面相对的对接面的距离不相等,侧面上至少有一个密封环和与该侧面相对的对接面压紧配合。本发明至少一个密封环形成的密封结构满足超高真空密封要求即可,使得整个系统的安装变得简单方便,易于加工。
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